К ним в первую очередь можно отнести оптический микроскоп с высокой разрешающей способностью для визуальных наблюдений. Без него, в частности, невозможно надежно контролировать целостность поверхности наносимых пленок, их толщину и конфигурацию. Поэтому правильный подбор подобного оборудования с подходящими характеристиками очень важен как для производственных, так и для исследовательских целей. Ему стоит уделить самое пристальное внимание, чтобы точно проводить нужные наблюдения и измерения параметров микроэлектронных компонентов и сборок.

В качестве оптических приборов для микроэлектроники можно использовать металлографические микроскопы, работающие в отраженном свете. Так, компания «Альтами» рекомендует свою модель МЕТ 3МТ-ДИК, в которой помимо всего прочего предусмотрена возможность проведения исследований по методу дифференциально-интерференционного контраста. С его помощью можно увеличить контрастность изображения, а также повысить разрешающую способность оптического прибора. К тому же конструкция модели включает в себя предметный столик большой площади, который позволяет с высокой точностью перемещать размещенные на нем образцы. Другим преимуществом прибора с таким столиком является возможность рассматривать объекты значительных размеров, в том числе фотошаблоны или электронные платы.

Также в процессе выбора стоит обращать внимание на стереомикроскопы. Они весьма удобны при одновременном наблюдении и работе с образцами, когда используются различные инструменты - паяльник, пинцет и т.п. Для пайки печатных плат стоит использовать модель Альтами СМ0745. Если же речь идет о контроле интегральных микросхем, то здесь более предпочтительны варианты с большим полем зрения и возможностью плавной регулировки увеличения.

В настоящее время достаточно часто в микроэлектронике используются не только оптические, но и цифровые микроскопы. В случае наличия в конструкции прибора видеокамеры, работающей по протоколу USB 3.0, обеспечивается высокое качество изображения, которое вполне достаточно для визуального контроля. При этом скорость передачи информации достаточна для того, чтобы избежать задержек и «торможения» картинки.